低溫等離子凈化器是根據不同廢氣配有不同藥劑，采用濕法處理的方法來凈化多種有毒、有害廢氣的一種裝置。它是吸取了泡沫塔、噴淋塔、填料塔等凈化技術的精華而設計的，兼有除塵效果。

UV光解凈化器其構造由微波發生器、離子臭氧發生器、控制箱、中效過濾、二氧化鈦光觸媒、外箱體組成。

UV光解凈化器工作原理

利用的高臭氧UV紫外線光束照射有機氣體及空氣中的氧分子，裂解有機氣體的分子鍵，并分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，UV＋O2→O-+O＊(活性氧)O+O2→O3(臭氧)。游離狀態的污染物分子與臭氧氧化結合成小分子無害或低害的化合物，如CO2、H2O等。從而達到凈化氣體的效果。凈化能力可達99%。

UV光解凈化器反應工程式：

1、UV+高分子有機物→低分子有機物

2、UV+空氣(O2)→O3

3、低分子有機物+O3→CO2+H2O+N2

UV光解凈化器采用的大功率紫外線放電管，屬低壓水銀放電管，發出的紫外線波長主要為170nm及184.9nm（目前正在開發150nm到184.9nm波長系列產品），光子能量分別為742KJ/mol和647KJ/mol。要裂解切斷污染物質分子的分子鍵，就要使用發出比污染物質分子的結合能強的光子能。表1列出了主要的化學分子的結合能。由表1中可知，大多數化學物質的分子結合能比170nm及184.9nm波長紫外線的光子能量低，所以，本UV光解凈化器能分解除碳，鈣，金屬外的大多數化學物質。