低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。一般氣體放電，將會產生等離子，而這種放電現像就是通過某種機制使一個或者多個電子從氣體原理或分子中分離出來，形成氣體媒質，這種媒質就稱為電離氣體，如果外電場產生了電離氣體，傳導電流就形成了，這種現象就被稱為氣體放電。而這種凈化設備的技術，就是工業廢氣處理的一種原理。

    設備反應過程中能量的傳遞大致如下：

    (1)電場+電子→高能電子

    (2)高能電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團)活性基團

    (3)活性基團+分子(原子)→生成物+熱

    (4)活性基團+活性基團→生成物+熱