廢氣焚燒爐有兩種類型：“直接燃燒”和“再生”。所謂“直火式”，就是只燃燒廢氣，不回收熱量的方法。然而，大多數用于覆銅工業的廢氣焚燒爐都回收熱量來加熱粘合劑。其實“直火”和“再生”的原理是一樣的，唯一的區別就是爐子里有沒有蓄熱材料。

    廢氣焚燒爐由燃燒室、廢氣預熱區、熱回收換熱器和煙灰組成。

    (1)燃燒室的作用。通過燃燒器的火焰，含有機物的廢氣被氧化分解為對環境無害的H2O和CO2。

    (2)廢氣預熱區的作用。廢氣在進入燃燒室前進行預熱，提高廢氣氧化分解效率。為了提高預熱效果，有些焚燒爐設計了兩個廢氣換熱器，第一換熱器的溫度低于第二換熱器的溫度，使廢氣預熱溫度得到更精確的控制。當廢氣預熱溫度較高時，廢氣經過第一換熱器后可進入燃燒室。“再生”式廢氣焚燒爐與“直燃式”廢氣焚燒爐的主要區別在于，“直燃式”廢氣焚燒爐是通過換熱器預熱，而“再生”式廢氣焚燒爐的廢氣經過預熱。與蓄熱材料（多采用“蜂窩陶瓷”）完成，可使廢氣預熱溫度較高。

    (3)熱回收換熱器的作用。焚燒過程中產生的熱量被回收并返回到用熱裝置（如粘合劑或其他用熱裝置）。

    常用的加熱介質是空氣和油。新鮮空氣（或油）通過風機（或泵）送入焚燒爐的換熱器，空氣（或油）加熱到一定溫度后送入加熱裝置。廢氣處理為有效控制熱風溫度，通常在熱風管道上增加一條旁通管道（與新風管道相連），如果排出的熱風溫度過高，旁通管道會自動開啟新鮮通過添加空氣來調節熱風溫度。當以油為介質時，加熱后的油通過加熱裝置流回焚燒爐的換熱器，使油溫保持在工藝要求的溫度范圍內。為了能夠控制熱油的溫度，燃燒室中產生的熱量分為兩路。一條路徑直接流向熱交換器，另一條路徑是旁通通道。當熱油溫度超過設定值時，多余的熱量從旁通通道排入煙囪。