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AIN靶材射頻磁控
AIN靶材射頻磁控濺射制備AIN薄膜及性質(zhì)研究(2013-08-28)
nl一V族半導(dǎo)體氮化物(GaN、AIN、BN、InN)在光學(xué)、電學(xué)和半導(dǎo)體領(lǐng)域具有很大應(yīng)用潛能。氮化鋁(AIN)具有許多突出的物理化學(xué)性能，如寬的直接帶隙(5.9~6.2ev)，大的擊穿場(chǎng)強(qiáng)(10kV/m)，高的熱導(dǎo)率3。2w/(cm.…[詳情]
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