激光共聚焦顯微鏡
激光共聚焦顯微鏡在膜厚三維形貌測量中是如何提高工作效率的?(2019-05-16)
需要在高度方向上做掃描,得到一系列的切片圖,然后進行圖像疊加并得到三維圖像,從而提高景深范圍。相對于傳統的光學顯微鏡,激光共聚焦顯微鏡其橫向分辨率提高40%以上,優秀可達120nm。激光共聚焦顯…[詳情]
三維激光共聚焦顯微鏡精確數字化描述(2019-05-10)
常用的磨損表面形貌觀察手段有體視顯微鏡、掃描電鏡,但不具備表面形貌特征的數字化描述功能;常用的粗糙度測量手段有干涉儀、粗糙度儀等,但是不能對磨損表面形貌進行觀察。先進的磨損表面形貌分析、…[詳情]
采用激光共聚焦顯微鏡可以獲取媲美SEM的顯微圖像(2019-03-25)
激光共聚焦顯微鏡可用來觀察樣品表面亞微米級別的三維輪廓形貌,也可以測量多種微幾何尺寸,像晶粒度、體積、膜深、膜厚、深度、長寬、線粗糙度、面粗糙度等。激光共聚焦相比于其他測量手段有其獨特的優勢…[詳情]