等離子表面處理機的簡單介紹
該清洗機內置高純石英倉體,容積為2升,結構為國際上的通用的真空石英法蘭密封結構。采用了新型的外觀結構設計和固態電源技術,使其有效容積增大,不同真空 氣體環境下容易匹配,且控制頻率穩定。
等離子表面處理機的詳細信息
KT-S2DQX 性能參數 供電電源 | AC220V(AC110V可選) | 工作電流 | 整機工作電流不大于3.5A(不含真空泵) | 控制方式 | 觸摸屏控制 | 射頻電源功率 | 150W(可調) | 射頻頻率 | 13.56MHz | 頻率偏移量 | <0.2MHz | 特性阻抗 | 50歐姆,手動匹配 | 耦合方式 | 電容耦合式 | 真空度 | ≤100Pa | 腔體材質 | 高純石英 | 腔體容積 | 2.2L(內徑110MMX深度240MM) | 觀察窗內徑 | Φ45 | 氣體流量 | 6-60 ml/min 10—100ml/min(其他量程可選) | 過程控制 | 手動設定,自動控制 | 清洗時間 | 手動設定,自動啟停 | 開蓋方式 | 鉸鏈側開式法蘭 | 氣體路數 | 2路質量流量計 | 可通入氣體 | 氬氣、氧氣、氮氣、空氣、氫+氮氣(混合氣體)等
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