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小型濺射儀
KT-Z1650PVD 是一款小型臺式濺射功率可控磁控濺射儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反
饋,樣品臺旋轉,樣品高度調節,及電動擋板功能。通過定時調節預濺射功率及薄膜沉積功率,可對
大部分金屬進行均勻物理沉積,真空腔室為透明玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄
膜,可制備各種金屬薄膜。

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