薄膜真空計是迄今為止唯一得到公認的可作為低真空測量（0.01--100Pa）工作副標準的一種真空儀器，
也是我國唯一具有法定計量校準檢定規程的一種真空度計量器具（校準參照規程：Q/WHJ46-1998標準型電容薄膜真空計校準規程）

電容薄膜真空計是一種絕壓、全壓測量的真空計，原理是把加于電容薄膜上的壓力變化產生膜片間距離的變化，即產生了電容的變化，再通過鑒頻器把電容變化轉換成為電流或電壓的變化，組成為輸出信號，所以，它的測量是直接反映了真空壓力的變化值，而且只與壓力有關，與氣體成分無關，即：薄膜真空計是一種直接測量式的、全壓型的真空計。

而我們的真空設備的真空度測量控制常用的真空計往往是電阻計、熱偶計等等間接測量的真空計，是一種熱傳導型的真空測量方法，簡單一點來說，就是通過測量感受氣體溫度的方法來間接測量氣體壓強（真空度），是一種類似于大家很熟悉熱電阻、熱電偶的測量方法，。由于測量原理上的先天不足，這類真空計的測量精度、測量穩定度是很不好的。其測量誤差一般比薄膜真空計大1~2個以上數量級（誤差大于30%，行業標準是50%），尤其是在低真空段，誤差更大，另外，使用過電阻計、熱偶計的度知道，這些儀表測量前還需要零點、滿度校正，怎么能夠用于在線測量控制呢？另外，遇到氫氣等小質量的氣體就無法測量了，如果要測，也查表換算，到底真空度是多少？------  猜吧。

不過，它確實也有它的優點的：制造容易、價格低廉，在許多的要求較低真空設備上還普遍使用著,……用過電阻計的都領教過它的煩心。許多人抱怨花了3、4千元買到進口的真空傳感器也誤差大、毛病多?就是因為老外的這個價位的產品還是老的熱傳導測量機理的真空傳感器。所以選擇真空計、真空傳感器、首先要看看什么原理、什么類型的，而不是數字、智能，測量機理陳舊，再怎么數字、怎么智能，也于事無補的。

現代真空應用技術的發展，涉及的應用范圍越來越廣泛、真空應用設備對儀器儀表的要求越來越高，特別是對測量精度、穩定性要求、以及自動控制性能要求也越來越高，這直接關系到真空設備的整體性能質量，關系到真空應用技術或應用工藝的應用效果，甚至于成功與否。在精細化工、真空冶煉、真空單晶爐、真空熱處理、真空浸漬、真空冷凍干燥、真空絕緣處理、電真空器件、半導體材料生產、高特新材料、新能源設備等等行業中尤其特出。
許多新設備、新工藝、新產品的開發之所以老是無法實現預想的技術指標和效果，往往就是因為真空測控儀表選型不當、其實際的測量控制精度無法達到設計要求所造成的。
當然，薄膜真空計也不是沒有缺點的，首先是價格高，國內一般是5-6千元，量限低的貴些；進口則1.6—2.5萬元/只左右；其次，國內老式的薄膜規容易零漂，需要經常校正，要求高的經常校正。主要是技術陳舊，國內材料科學相對落后造成的，溫度穩定性不好；還有一個量程跨度小，國內的不超過3個數量級。第三是國產規嬌氣，容易壞，有油污進去很難清洗，常常要用丙酮，清洗后也會有1/3往往會報廢，小量程的23會壞。
所以，我們需要有一種具有國產價格、進口品質的、使用方便、經久耐用薄膜真空計。緊跟國際先進的真空測量新技術，我們能夠做得到的。
分析國外的薄膜真空計與我們舊式國產產品的有什么不同呢？一是陶瓷薄膜真空壓力測量技術、二是智能儀表技術。首先是通過大規模厚膜電路（國內有些廠家還是20年前的007運放），將薄膜電容測量機構和傳感器調理電路微型化，做在陶瓷基片上，另外，將智能儀表電路微型化，一次儀表和二次儀表合二為一，所以量程寬、精度高、體積小；（其典型代表如MKS的622--627、英?？礣CBG250等）

       引進國外先進核心技術，采用最新型IC,根據我國真空設備配套測控儀表的特點，研制出的陶瓷薄膜真空計，其測量精度和穩定性已經完全可以與進口產品相媲美了。

      根據國內設備的習慣，控制柜上數字面板表，還是經常使用的，采用專門設計的具有真空測控特點的精密二次儀器儀表，借籍于現代智能儀表技術的科技成果，有利于提供測量的精度、分辨率、穩定性和可靠性，增加智能化的自動控制功能，（可以配接任何一種模擬量、數字量的接口，比進口的薄膜真空計更靈活、更方便）
實踐證明，具有現代智能儀表技術的新型陶瓷薄膜真空計使用到（環保能源生物醫藥常用設備的）真空濾清、真空精餾真空冷凍干燥機、真空單晶爐、氣氛真空爐、、真空鍍膜機等設備，做真空測量和自動控制帶來極大地方便和性能提高，可以快速升級為智能型的真空應用設備。當然，也可以用到科研實驗室、計量室作為相應的真空段的0.1級標準器，陶瓷芯片的優異性能使其年穩定度達到0.1%以上；

（筆者80年代初期起即從事生產各類型真空測控儀器儀表，用于真空電爐、真空羅茨泵機組自動控制的ZKJ-100、90b型真空繼電器用在全國各地，沿用至今）

   30多年來，本單位不斷地開發新產品，緊跟國際先進水平，在多年提供配套服務過程中，積累了許多技術方案、成熟經驗，可提供大家參考。歡迎交流，QQ:1594484895）

如果您在設備上已經使用了進口的名牌薄膜計，
不妨也用一用、試一試VR-208C-510系列薄膜真空計，（它的優越性能可能會使你覺得買老外的有點冤。。。）；

如果您一直在使用電阻計、熱偶計、甚至古老的麥氏真空計，
那么，相信我們的VR-208C-510系列新型薄膜真空計一定會給您的工作帶來改觀和驚喜。
 

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