1、油擴(kuò)散泵的概述：
    油擴(kuò)散泵的工作原理與水蒸汽噴射泵相似，也是靠高速蒸汽射流來攜帶氣體以達(dá)到抽真空的目的，所以會(huì)有水蒸汽噴射泵相似的特點(diǎn)。不一樣的一點(diǎn)是擴(kuò)散泵工作在高真空區(qū)域，是獲得高真空的主要設(shè)備。其工作壓強(qiáng)范圍為10-2～10-6pa。廣泛用于真空冶煉、真空鍍膜、空間模擬試驗(yàn)和對(duì)油污染不敏感的一些真空系統(tǒng)中。
    2、油擴(kuò)散泵的工作原理與結(jié)構(gòu)：
    當(dāng)油蒸汽從傘形噴咀(如I級(jí)噴咀)以超音速噴射出來后，它的速度越來越快，壓力及密度慢慢降低，噴射流上邊的被抽氣體A因密度差要向蒸汽射流中擴(kuò)散并被射流攜帶到水冷的泵壁處B，在B處，工作蒸汽大部分被冷凝成油滴沿泵壁流回到油鍋中循環(huán)利用，而被抽氣體在B處堆積、壓縮，最后被下級(jí)射流攜帶走，這樣就可以逐級(jí)壓縮，最后被前級(jí)泵抽走。其抽速特性曲線如圖所示。
    3、油擴(kuò)散泵的發(fā)展歷程：
    歷史1915年，德國物理學(xué)家W.蓋得發(fā)表了他研究的擴(kuò)散泵報(bào)告。1916年，美國人I.朗繆爾制成泵壁帶有冷卻系統(tǒng)的冷凝泵。這些泵以汞蒸氣為工作介質(zhì)，并且可以最終獲得10-5帕的真空。1928年,英國人C.D.伯爾奇發(fā)現(xiàn)高沸點(diǎn)的石油衍生物。1936年，C.D.希克曼等人制成人工合成油。這兩種油在室溫下的飽和蒸氣壓都非常低，從而取代了汞作為擴(kuò)散泵的工作液。從此油擴(kuò)散泵在高真空領(lǐng)域的工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)試驗(yàn)中就逐漸普遍使用，并打下了高真空技術(shù)的基礎(chǔ)。1960年代開始，油擴(kuò)散泵又有了新的改變。主要的改進(jìn)是：①泵的材料采用放氣量微小的不銹鋼。②采用飽和蒸氣壓很低、熱穩(wěn)定性好的油如聚苯醚和硅油作泵的工作液。③改變結(jié)構(gòu)，新款的油擴(kuò)散泵在泵的進(jìn)氣口法蘭不變和不過分增大泵的外形尺寸條件下，在法蘭下部突出地?cái)U(kuò)大泵腔的斷面，其抽氣速率可增大20～40％。如在此裝設(shè)一個(gè)大直徑擴(kuò)散噴嘴和液氮冷卻的大直徑擋油帽等等。該泵可有通常泵（指沒有擴(kuò)大泵腔斷面的泵）的抽氣速率，并比較徹底地克服了泵的返油而獲得低于10-8帕清潔超高空。因此,油擴(kuò)散泵在清潔超高真空的工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)試驗(yàn)中又取得重要的地位。