當氣路發(fā)生漏氣或堵塞時使分析結(jié)果偏低，可通過關(guān)閉過濾開關(guān)上的閥門，觀察“抽氣”流量計浮子是否慢慢下降，如能降到1L/min以下則氣密性良好，否則氣路有漏氣或堵塞部位。當氣路系統(tǒng)出現(xiàn)故障時可通過以下幾步檢查處理。
　　
　　1、首先檢查從高溫爐中石英管的抽氣管接頭到空氣開關(guān)之間的硅橡膠管是否有破損并及時更換(一般在抽氣管接頭處容易出現(xiàn)破損)；
　　
　　2、檢查過濾開關(guān)的凡士林是否起到密封效果否則均勻添加凡士林，并檢查過濾開關(guān)中的脫脂棉是否合適只要能起到過濾氣路便可，并非多多益善否則可堵塞氣路；
　　
　　3、檢查電解杯的進氣口和出氣口硅橡膠管接頭是否漏氣，拔下后重新安裝進行確認；
　　
　　4、檢查干燥管上下接頭處密封圈是否完好，并添加凡士林防止漏氣，另外檢查下接頭是否有硅膠落入，以防堵塞氣路；
　　
　　5、調(diào)節(jié)氣路中的單向節(jié)流閥使抽氣量在2.0L/min左右，吹氣流量在1200±200mL/min，并鎖死單向節(jié)流閥防止微型真空泵震動改變流量大小。
　　
　　6、檢查微型真空泵(抽氣泵)是否故障、漏氣。起初這種故障很常見，后來我們把它全部更換為“成都氣海”的產(chǎn)品，幾年以來微型真空泵再沒有出現(xiàn)過故障。