川本恒溫恒壓冷凍機控制系統在MOCVD半導體芯片設備的應用
一、 系統參數
爭對深圳一生產LED芯片廠家的現狀，現車間有5臺MOCVD機、高溫烘烤爐、單這退火爐、XRD分析測試機各1臺，根據客戶需要進行恒溫恒壓供水設計。
初步設計5臺MOCVD機分別由2臺40HP和1臺20HP制冷系統分別對其進行恒溫恒壓供水，高溫烘烤爐、單這退火爐、XRD分析測試機1臺的供水由1臺15HP制冷系統進行恒溫恒壓供水，依據參數設計如下表：
|
設備 |
數量 |
冷水流量(m3/h) |
供水壓力 （bar） |
最小壓差 （bar） |
進水溫度 ℃ |
進水管徑 不繡鋼 |
所需配 冷水機 |
備注 |
|
1#MOCVD |
1 |
10 |
4.83±0.69 （4-6）可調 |
2.76 |
18－20 |
DN25 |
40HP |
水質為 純凈水 |
|
2#MOCVD |
1 |
10 |
4.83±0.69 （4-6）可調 |
2.76 |
18－20 |
DN25 | ||
|
3#MOCVD |
1 |
10 |
4.83±0.69 （4-6）可調 |
2.76 |
18－20 |
DN25 |
40HP |
水質為 純凈水 |
|
4#MOCVD |
1 |
10 |
4.83±0.69 （4-6）可調 |
2.76 |
18－20 |
DN25 | ||
|
5#MOCVD |
1 |
10 |
4.83±0.69 （4-6）可調 |
2.76 |
18－20 |
DN25 |
20HP |
水質為 純凈水 |
|
高溫烘爐 |
1 |
12 |
2.5 |
|
22－25 |
DN50 |
15HP |
水質為 純凈水 |
|
單管退火爐 |
1 |
3 |
|
|
|
DN20 | ||
|
XRD |
1 |
0.36 |
4 |
―― |
15－25 |
DN15 |
二、變頻恒壓供水特點:
1、恒壓供水能自動24小時維持恒定壓力，并根據壓力信號自動啟動備用泵，無級調整壓力，供水質量好，與傳統供水比較，不會造成管網破裂及水龍頭共振現象。
2、動平滑，減少電機水泵的沖擊，延長了電機及水泵的使用壽命，避免了傳統供水中的水錘現象。
3、采用變頻恒壓供水保護功能齊全，運行可靠，具有欠壓、過壓、過流、過熱等保護功能。
4、系統配置可實現全自動定時供水,徹底實現無人值守自動供水.控制系統具有故障報警和顯示功能,并可進行工變頻轉換,應急供水。
5、系統根據用戶用水量的變化來調節水泵轉速，使水泵始終工作在高效區，當系統零
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