微型真空泵是薄膜泵的一種，它的特點是效率高；運動機構與輸送介質完全隔離、對介質無污染；非動密封，無泄漏；可靠性好；體積小、重量輕；具有自吸能力；不怕空轉；無需潤滑保養；自身噪音低。薄膜泵作為微型真空水泵使用時，無需灌泵，既能抽氣又能抽水，無水時不怕干轉。薄膜泵的優點尤其是無污染性、自吸性使它在儀器儀表行業得到了廣泛運用。市場上質量優異的微型真空泵以外國名牌KNF、GAST、THOMAS等和國產“氣海”泵為代表。

    在使用中微型真空泵的噪聲主要來自流體噪聲和電機噪聲。微型真空泵大量運用于實驗、檢驗和醫療衛生場所，這些場所對噪聲控制的要求較嚴格，除選用性能優良的泵外還可以合理使用消聲器。氣體管路系統的消聲器是通過阻尼或增加排氣面積來降低排氣速度并消耗能量以降低噪聲。常見的消聲器有阻性、抗性、阻抗復合型等。工業真空泵排氣系統的氣流通道截面常具有多次突變的特點，一般采用復合型消聲器，殼體、隔板、微穿孔結構采用不銹鋼薄板制成。微型真空泵常采用吸收型或膨脹干涉型消聲器。技術先進的微型泵生產商為泵配置了專門的消聲器。

    根據聲學原理，當氣流通過節流口時，如果上游壓力P1、溫度T1恒定，下游壓力為P2，P2/P1小于聲速流臨界壓力比b時，會出現聲速流，P2/P1 > b時，會出現亞聲速流。當下游壓力P2、溫度T2恒定時，P1/P2 > 1/b時會出現聲速流，并且流量和流速會線性地隨上游壓力增大而增大。把微型真空泵作為氣泵給下游打氣時，微型真空泵出口的壓力保持恒定，下游閥門、容器等流道的壓力雖有波動，但一般不大可能降低到出現聲速流量。微型真空泵的出口向大氣排氣時，下游壓力P2恒定為0.1MPa，可能出現聲速或接近聲速的流態，氣體急劇膨脹與壓力劇變，產生較大的噪聲。排氣噪聲與壓力、流量和流道截面積等因素有關。消聲器的選用主要根據噪聲頻率范圍、氣流速度，對一般系統氣流速度可取6～10m/s，高壓排氣則可大于20m/s。消聲器的效果按標準規定，公稱通徑6～25mm時不小于20dB（A），公稱通徑32～50mm時不小于25dB（A）。通常在排氣口設置消聲器。

成都“氣海”機電公司研發了最先進的長壽命可調速微型泵，有調速真空泵、調速氣泵、調速水泵諸多型號。可調速微型泵采用了先進的進口無刷電機，不僅具有壽命長、無雜波干擾、能利用PWM（脈寬調制）線方便可靠調節流量、能輸出轉速反饋信號等優點，而且電機噪聲顯著低于原有電機。通過PWM降低電機轉速后可以取得非常理想的降噪效果。而且“氣海”公司還設計了微型泵專用消聲器，運用先進的多重消聲原理，壓力損失小，降噪效果好。在泵的進、出口都安裝專用消聲器則效果更佳。

SLS-2012-05