青島杭氧電子氣純氮設備順利出氮
作者： 2022年09月22日 來源： 瀏覽量：
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近日，青島杭氧電子氣純氮設備開車一次成功，順利產出產品，純度和產量均達到設計要求。據悉，該設備配套青島杭氧電子氣大宗氣體項目，為青島芯恩集成電路有限公司提供電子氣級別氮氣，純氮設備產品含氧量要求0.1ppm
近日，青島杭氧電子氣純氮設備開車一次成功，順利產出產品，純度和產量均達到設計要求。
據悉，該設備配套青島杭氧電子氣大宗氣體項目，為青島芯恩集成電路有限公司提供電子氣級別氮氣，純氮設備產品含氧量要求0.1ppm以下，再經過后處理加工，供應業(yè)主。本套電子氣項目有“爬坡”的特點，用戶氮氣需求逐漸增加，根據業(yè)主要求，純氮設備具有低負荷、大操作范圍的能力，并采用雙塔流程提升提取率，降低能耗，操作負荷范圍在38%~105%，目前設備運行在40%左右。此外，針對電子氣項目保供要求，做了更多可靠性的配置，后備系統(tǒng)在產品管路波動時可自行補氣，如遇到純氮設備跳車，甚至控制系統(tǒng)故障，停水斷電，后備系統(tǒng)仍能平穩(wěn)供氣，確保下游工藝的安全。
隨著純氮設備出氮，青島杭氧電子氣項目二階段設備全面投入使用。
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