晶盛機(jī)電（300316）官微消息，5月19日，由晶盛機(jī)電子公司晶鴻精密與日本primet合資成立的紹興普萊美特真空部件有限公司成立1周年之際，跨國合作的第一批國產(chǎn)半導(dǎo)體真空閥門產(chǎn)品——6款隔膜閥閃耀亮相。4月份，首批6款隔膜閥通過客戶認(rèn)證，實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。這標(biāo)志著隔膜閥國產(chǎn)化取得階段性成果，為國內(nèi)半導(dǎo)體真空市場提供更優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品，打造半導(dǎo)體核心精密真空閥門部件國產(chǎn)化基地邁出重要一步。據(jù)悉，中芯集成、七星流量計(jì)、美國應(yīng)用材料、日本東京電子等國內(nèi)外客戶參加了發(fā)布會。（來源：證券時報(bào)）

據(jù)了解，2021年3月，晶鴻精密與日本primet牽手，雙方發(fā)揮各自的產(chǎn)業(yè)與資源優(yōu)勢，融合普萊美特的先進(jìn)研發(fā)技術(shù)和晶鴻的精密制造能力，加速推動國產(chǎn)真空閥門的技術(shù)升級、產(chǎn)品研發(fā)和市場開拓，以填補(bǔ)國內(nèi)半導(dǎo)體關(guān)鍵閥門空白。

經(jīng)過1年的研發(fā)制造，2022年4月，首批6款隔膜閥通過客戶認(rèn)證，實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。晶盛機(jī)電同時表示，公司深化創(chuàng)新鏈和產(chǎn)業(yè)鏈融合，加快關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)，以創(chuàng)新引領(lǐng)產(chǎn)品、工藝的迭代和突破，開拓高壓、高流量及IGS隔膜閥的開發(fā)，努力成為國內(nèi)半導(dǎo)體關(guān)鍵閥門的領(lǐng)導(dǎo)者。

隨著我國半導(dǎo)體高端裝備市場需求增長強(qiáng)勁，集成電路產(chǎn)業(yè)鏈上下游關(guān)鍵零部件的供應(yīng)成為影響產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵點(diǎn)，關(guān)鍵精密零部件以其有限產(chǎn)能及不可或缺性成為市場競爭的重要一環(huán)。紹興普萊美特吸收日本primet的先進(jìn)技術(shù)，充分發(fā)揮晶鴻精密制造能力，使產(chǎn)品技術(shù)性能達(dá)到國際同類閥門的先進(jìn)水平，保障國內(nèi)高端半導(dǎo)體零部件產(chǎn)業(yè)鏈的供給穩(wěn)定。(集微網(wǎng)/林雪瑩)