目前,四極質譜儀不僅用于真空中的泄漏檢測和殘余氣體分析,而且還用在工藝和控制過程中提供定量分析的儀器。但由于氣體的總壓力、混合氣體成分、四極質譜儀設置、環境條件等對測量信號及其不確定度和數據分析有重大影響,因此不能對所有四極質譜儀進行校準。實際使用時,要么在實際使用條件下進行校準,要么在指定條件下進行校準,因此需要進行對四極質譜儀進行標準化定義和規范指導。
近期,《真空計 四級質譜儀的定義與規范》已經編制完成,并正面向社會征求意見。據悉,該標準是蘭州空間技術物理研究所、安徽皖儀科技股份有限公司、安徽歌博科技有限公司、湖南維格磁流體股份有限公司、惠州飛凱新材料有限公司、沈陽真空技術研究所有限公司在中國機械工業聯合會的主管下,遵循“面向市場、服務產業、自主制定、適時推出、及時修訂、不斷完善”的原則,依據GB/T 1.1-2009《標準化工作導則 第1部分:標準的結構和編寫》編寫結構、編排內容共同起草的。
閱讀《真空計 四級質譜儀的定義與規范》征求意見稿后可知,標準適用于配備了電子轟擊型離子源的四極質譜儀。這樣的四極質譜儀通常用于測量質荷比(m/z)小于300的物質。配有其它類型的離子源,如化學電離、光電離、場致電離等,以及主要用于檢測質荷比(m/z)大于300的特定有機材料的四極質譜儀,不在本標準的范圍內。
本標準定義了與四極質譜儀相關的術語,并規定了制造商說明書中需要的參數,用于正常的校準和保證分壓力測量質量;明確了四級質譜儀的原理是正離子在離子源中產生。這些離子加速飛向濾質器,其由四個對稱排列的具有方形橫截面的雙曲柱形桿或棒組成,施加在四級桿上的直流和射頻組合電壓通過質荷比不同來分離由四極質譜儀檢測器檢測到的這些離子;并表明為確保用戶在使用四級質譜儀時能最大限度的減少測量誤差并提供安全操作指導,制造商應給出質量范圍、離子源類型、離子檢測器類型、質量分辨率、靈敏度、線性響應范圍、掃描參數、電位、傳感器頭和電控單元的質量等功能和技術規范。
本標準的制定,為四極質譜儀提供了與國際上一致的的定義與規范,填補了國內空白,這不僅有利于提升我國四極質譜儀產品的國際競爭力,也有利于使用者在綜合考慮國內外產品性能時,提供技術支撐。為此,希望相關單位能在仔細研核后提出相關建設性意見。
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