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《真空計 四級質(zhì)譜儀的定義與規(guī)范》意見征求

作者： 2020年04月28日 來源：全球化工設(shè)備網(wǎng) 瀏覽量：
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目前，四極質(zhì)譜儀不僅用于真空中的泄漏檢測和殘余氣體分析，而且還用在工藝和控制過程中提供定量分析的儀器。但由于氣體的總壓力、混合氣體成分、四極質(zhì)譜儀設(shè)置、環(huán)境條件等對測量信號及其不確定度和數(shù)據(jù)分析有重大
　　目前，四極質(zhì)譜儀不僅用于真空中的泄漏檢測和殘余氣體分析，而且還用在工藝和控制過程中提供定量分析的儀器。但由于氣體的總壓力、混合氣體成分、四極質(zhì)譜儀設(shè)置、環(huán)境條件等對測量信號及其不確定度和數(shù)據(jù)分析有重大影響，因此不能對所有四極質(zhì)譜儀進行校準。實際使用時，要么在實際使用條件下進行校準，要么在指定條件下進行校準，因此需要進行對四極質(zhì)譜儀進行標準化定義和規(guī)范指導(dǎo)。
 
　　近期，《真空計 四級質(zhì)譜儀的定義與規(guī)范》已經(jīng)編制完成，并正面向社會征求意見。據(jù)悉，該標準是蘭州空間技術(shù)物理研究所、安徽皖儀科技股份有限公司、安徽歌博科技有限公司、湖南維格磁流體股份有限公司、惠州飛凱新材料有限公司、沈陽真空技術(shù)研究所有限公司在中國機械工業(yè)聯(lián)合會的主管下，遵循“面向市場、服務(wù)產(chǎn)業(yè)、自主制定、適時推出、及時修訂、不斷完善”的原則，依據(jù)GB/T 1.1-2009《標準化工作導(dǎo)則 第1部分：標準的結(jié)構(gòu)和編寫》編寫結(jié)構(gòu)、編排內(nèi)容共同起草的。
 
　　閱讀《真空計 四級質(zhì)譜儀的定義與規(guī)范》征求意見稿后可知，標準適用于配備了電子轟擊型離子源的四極質(zhì)譜儀。這樣的四極質(zhì)譜儀通常用于測量質(zhì)荷比(m/z)小于300的物質(zhì)。配有其它類型的離子源，如化學電離、光電離、場致電離等，以及主要用于檢測質(zhì)荷比(m/z)大于300的特定有機材料的四極質(zhì)譜儀，不在本標準的范圍內(nèi)。
 
　　本標準定義了與四極質(zhì)譜儀相關(guān)的術(shù)語，并規(guī)定了制造商說明書中需要的參數(shù)，用于正常的校準和保證分壓力測量質(zhì)量；明確了四級質(zhì)譜儀的原理是正離子在離子源中產(chǎn)生。這些離子加速飛向濾質(zhì)器，其由四個對稱排列的具有方形橫截面的雙曲柱形桿或棒組成，施加在四級桿上的直流和射頻組合電壓通過質(zhì)荷比不同來分離由四極質(zhì)譜儀檢測器檢測到的這些離子；并表明為確保用戶在使用四級質(zhì)譜儀時能最大限度的減少測量誤差并提供安全操作指導(dǎo)，制造商應(yīng)給出質(zhì)量范圍、離子源類型、離子檢測器類型、質(zhì)量分辨率、靈敏度、線性響應(yīng)范圍、掃描參數(shù)、電位、傳感器頭和電控單元的質(zhì)量等功能和技術(shù)規(guī)范。
 
　　本標準的制定，為四極質(zhì)譜儀提供了與國際上一致的的定義與規(guī)范，填補了國內(nèi)空白，這不僅有利于提升我國四極質(zhì)譜儀產(chǎn)品的國際競爭力，也有利于使用者在綜合考慮國內(nèi)外產(chǎn)品性能時，提供技術(shù)支撐。為此，希望相關(guān)單位能在仔細研核后提出相關(guān)建設(shè)性意見。
 
　　更多詳情請點擊：《真空計 四級質(zhì)譜儀的定義與規(guī)范》征求意見稿
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