“HR-ICPMS測試無機雜質檢測方法”項目順利通過驗收
作者： 2019年11月28日 來源：中國儀表網 瀏覽量：
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為了提高我國的計量檢定和檢測技術水平，上海市計量測試技術研究院在計量基標準器的研制和建立中也不斷取得成績。研制并建立的部分計量基準、計量標準裝置已經達到了國內或國際同類裝置的較好水平。
為了提高我國的計量檢定和檢測技術水平，上海市計量測試技術研究院在計量基標準器的研制和建立中也不斷取得成績。研制并建立的部分計量基準、計量標準裝置已經達到了國內或國際同類裝置的較好水平。
據悉，近日，國家市場監督管理總局科技和財務司組織專家對上海計量測試技術研究院承擔的總局科技計劃項目“HR-ICPMS測試高純有機試劑中無機雜質檢測方法與應用研究”(項目編號：2017QK085)進行了驗收。驗收專家組認為項目達到了規定的考核指標，一致同意項目通過驗收。
該項目建立了HR-ICPMS測試高純有機試劑中無機雜質的方法，參與了國家標準的編寫，綜合技術指標達到國內領先水平，滿足對高純有機試劑的檢測要求。項目成果已應用于高純有機試劑企業產品質量控制、雜質檢測及方法驗證。
HR-ICPMS技術原理就是，ICP-MS將ICP離子源與MS檢測技術完美結合的無機分析技術，Inductively Coupled Plasma(ICP)離子源是利用高溫等離子體(Ar)將樣品中待分析的元素離子化成為帶電荷離子的裝置，而Mass Spectrometer(MS)質譜是帶電離子按照質荷比(質量/荷電，m/q或m/z)的大小順序排列。
項目成果的應用與推廣將加快我國高純試劑標準化建設的步伐，為提升高純試劑特別是集成電路和生物醫藥用高純試劑質量提供技術支撐。
正超凈高純試劑是集成電路(IC)和超大規模集成電路(VLSI)制造過程中的關鍵性基礎化工材料之一,主要用于芯片的清洗和腐蝕。具有品種多、用量大、技術要求高等特點。在現階段,集成電路(IC)和超大規模集成電路(VLSI)制造過程中,仍普遍沿用濕法工藝。因此,超凈高純試劑在電路制造中更不失其重要意義。
資料來源：百度學術、上海市計量測試技術研究院
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