濱松實現世界首例中紅外光化合物半導體器件量產
作者： 2019年09月20日 來源：全球化工設備網 瀏覽量：
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基于長期積累的化合物光半導體制造技術，日前，濱松公司成功實現世界首例中紅外光化合物半導體器件(TypeⅡ超晶格紅外探測器件)P15409-901的量產，該器件可檢測波長至14.3μm的中紅外光，且符合歐盟RoHS標準，不含水
基于長期積累的化合物光半導體制造技術，日前，濱松公司成功實現世界首例中紅外光化合物半導體器件(TypeⅡ超晶格紅外探測器件)P15409-901的量產，該器件可檢測波長至14.3μm的中紅外光，且符合歐盟RoHS標準，不含水銀和鎘。該器件進入市場，有望替代現有分析儀器中含有RoHS限制物質的光接收器件。
P15409-901中紅外光化合物半導體器件是將銦和砷的化合物InAs和鎵和銻的化合物GaSb，分別以數納米的厚度的薄膜，在基板上交替層疊形成的一種特殊結構的化合物半導體器件。探測可見光主要采用的是由硅材料制成的光學半導體器件，但想要檢測波長比可見光長的中紅外光，需要使用組合多種材料的化合物半導體器件。濱松此前已經成功開發并銷售了銦、砷和銻材料可以檢測11μm的光學半導體器件。到目前為止，濱松公司采用InAs和GaSb薄膜交替層疊在基板上的特殊結構已經實現了波長大于11μm的中紅外光的檢測，但為了實現量產，還需要配套更高要求的生產技術。
此次，濱松利用化合物光半導體器件的制造技術積累，在實現精密控制生產設備的同時，優化了生產條件，建立了一種可以使均勻厚度的InAs和GaSb薄膜進行精確地交替層疊的制造技術，是世界上首例符合RoHS標準，不含RoHS指令中限制物質水銀和鎘，能夠檢測至14.3μm的TypeII超晶格紅外探測器。
以傅里葉變換紅外分光光度計為代表，目前利用中紅外光，組裝于分析儀器中用于分析大氣、食品、藥劑中等所包含物質的光接收器件，都含有限制物質，本產品預計會替代這部分器件。此外，有望取代組裝于氣體成分分析儀器、物體表面溫度非接觸高靈敏度、高度測量裝置中現有的光接收器件。同時，為實現更長波長、高靈敏度，濱松將繼續推進本產品相關模塊化產品的開發。
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