近期,荏原制作所在藤澤事業所以“第二屆ebara開放創新國際研討會(以下簡稱EOI)”為題,邀請了迄今為止在CMP領域進行共同研究的國內外著名老師們6人。
本研討會的目的是通過提供外部研究人員和內部工程師和研究人員能夠討論的場所,加深相互理解和合作,更好地推進技術的發展和研究成果的事業發展。
今年,除了演講之外,為了通過會議的討論和意見交換來加深理解,我們新引入了小組討論會。Jeong教授( Pusan National Univ.)、黑河教授(九州大學)、鈴木準教授(名古屋大學)、天谷教授(群馬大學)、真田準教授(靜岡大學)、Khajornrungruang準教授(九州工業大學) 6名老師,總共有100多名公司內的技術人員和研究者參加,就CMP相關技術的科學化進行了熱烈地討論。
作為EHU (Ebara Hi-tech University)活動的一環,EOI研討會為推進技術開發做出了重要貢獻。EHU今后也會通過在EOL (Ebara Open Laboratory)聯合研究等方面與相關的老師以及國內外的研究者的邀請演講,通過最尖端的技術和研究開發的規劃,努力提高本公司的技術力。
荏原集團由于致力于開發中期經營計劃和ESG的重要課題,所以致力于實現經營方針和進一步提高企業價值,最后致力于可持續性的開發目標(SDGs)。
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