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薄膜沉積控制儀需要進行哪些保養工作

作者: 2019年04月29日 來源:全球化工設備網 瀏覽量:
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薄膜沉積控制儀在模塊化的基礎上建立了溫度測量薄膜控制系統,可以支持擴展4個輸入輸出口和探頭,實時的頻率-溫度曲線和500℃操作晶體。該儀器設有快速設定菜單、6個區分上下文按鈕以及一個簡便的參數設定旋鈕,易于
  薄膜沉積控制儀在模塊化的基礎上建立了溫度測量薄膜控制系統,可以支持擴展4個輸入輸出口和探頭,實時的頻率-溫度曲線和500℃操作晶體。該儀器設有快速設定菜單、6個區分上下文按鈕以及一個簡便的參數設定旋鈕,易于設定和操作,用于開發、測試和下載過程的程序,以及用于將儀器數據記錄到PC進行過程分析與質量控制的程序的過程控制,尤其適用于低沉積速率,測量速率為每秒10個讀數,存儲容量可達100個過程、1000層薄膜、50種薄膜材料。
  操作溫度超過1600F/710C時,不能進行測量,否則要損壞儀器,當環境溫度低于00C時,PH電極可能會損壞,千萬注意,不要超出規定溫度范圍,把儀器存放在熱源附近或在天氣炎熱的情況下,溫度很容易達到或超過1500F,這將導致儀器測量不準。
  電極更換電極型號,確認薄膜沉積控制儀型號和序列號,以確保選擇正確的電極型號,每臺儀器都配有相應的電極型號。
  電極清洗電導/TDS/電阻電導池盡可能保持干凈,用足量干凈水沖洗電極池可防止雜物聚集在電極上,但是很贓的溶液尤其是含鱗狀顆粒的溶液,很容易在電池中沉淀形成薄膜,這降低了測試的精確度,一旦形成油膜或有臟物沉積在電極上,就用普通的無腐蝕清洗劑清洗,并用清水潤洗干凈,就可以準確測試了。
  電池的更換:擦干儀器表面,擰開后面四顆螺絲,小心打開后蓋,移走后蓋,把電池取下,并換上新的9V堿性電池,蓋上后蓋,擰緊螺絲。因為已安裝了不可擦除可讀存儲器,即使電源斷電或更換電池的過程中,存儲在記憶器中的記錄數據和校正更改設置并不會消失。
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