“微納結(jié)構(gòu)動(dòng)態(tài)特性測試儀的開發(fā)和應(yīng)用”項(xiàng)目主要針對微納結(jié)構(gòu)與微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)器件動(dòng)態(tài)特性測試的需求，突破高信噪比時(shí)空調(diào)制和自動(dòng)調(diào)焦等關(guān)鍵技術(shù)，開發(fā)具有自主知識產(chǎn)權(quán)、質(zhì)量穩(wěn)定可靠、核心部件國產(chǎn)化的微納結(jié)構(gòu)動(dòng)態(tài)特性測試儀，開發(fā)相關(guān)軟件和數(shù)據(jù)庫，實(shí)現(xiàn)微納結(jié)構(gòu)與MEMS器件的振動(dòng)頻率、模式模態(tài)等特性測量分析以及典型缺陷識別。上海市計(jì)量測試技術(shù)研究院承擔(dān)該項(xiàng)目中的“微納結(jié)構(gòu)動(dòng)態(tài)特性測試儀性能評測方法研究”課題，將重點(diǎn)研究微納結(jié)構(gòu)標(biāo)準(zhǔn)振動(dòng)模態(tài)激勵(lì)方法，搭建校準(zhǔn)系統(tǒng)平臺，實(shí)現(xiàn)對激光測量系統(tǒng)關(guān)鍵參數(shù)的精確評價(jià)，并開展試驗(yàn)驗(yàn)證和關(guān)鍵參數(shù)的不確定度評定。

　　

　　“高精度三維螺紋綜合測量儀的開發(fā)和應(yīng)用”專項(xiàng)重點(diǎn)針對先進(jìn)制造領(lǐng)域螺紋幾何參數(shù)的綜合性檢測需求，突破內(nèi)外螺紋三維掃描高精度測頭和三維參數(shù)高效重構(gòu)關(guān)鍵技術(shù)，開發(fā)具有自主知識產(chǎn)權(quán)、質(zhì)量穩(wěn)定可靠、核心部件國產(chǎn)化的高精度三維螺紋綜合測量儀，開發(fā)相關(guān)軟件和數(shù)據(jù)庫，實(shí)現(xiàn)螺紋全參數(shù)的三維自動(dòng)掃描檢測。上海市計(jì)量測試技術(shù)研究院承擔(dān)該項(xiàng)目中的“高精度三維螺紋綜合測量儀在普通螺紋領(lǐng)域的應(yīng)用開發(fā)”的課題，將重點(diǎn)探索和檢驗(yàn)儀器在普通螺紋領(lǐng)域中的應(yīng)用，建立儀器應(yīng)用于普通螺紋領(lǐng)域的應(yīng)用方案，編寫數(shù)字化螺紋數(shù)據(jù)庫等。

　　

　　科學(xué)儀器設(shè)備是科學(xué)研究和技術(shù)創(chuàng)新的基石，是經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展和國防安全的重要保障。我院依托2014年度重大科學(xué)儀器開發(fā)專項(xiàng)“跨尺度微納米測量儀的開發(fā)和應(yīng)用”的成功經(jīng)驗(yàn)，積極組織科研團(tuán)隊(duì)承擔(dān)重要課題任務(wù)，為提升我國科學(xué)儀器設(shè)備的自主創(chuàng)新能力，促進(jìn)產(chǎn)業(yè)升級發(fā)展，支撐創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)發(fā)展戰(zhàn)略的實(shí)施做出積極的貢獻(xiàn)。

　　

　　編輯點(diǎn)評

　　

　　上海市計(jì)量測試技術(shù)研究院機(jī)械制造所作為重要課題承擔(dān)單位積極參與申報(bào)兩項(xiàng)重大科學(xué)儀器開發(fā)專項(xiàng)，彰顯出上海計(jì)量院在計(jì)量行業(yè)的重要角色，同時(shí)體現(xiàn)了上海計(jì)量院在該領(lǐng)域領(lǐng)先的技術(shù)實(shí)力和領(lǐng)導(dǎo)地位。

　　

　　(原標(biāo)題：我院積極參與兩項(xiàng)“重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)”重點(diǎn)專項(xiàng)申報(bào))