6月27日,記者在西充縣工業集中區的九天真空科技股份有限公司的真空分子泵研發室內看到,工作人員正在小心翼翼地裝配高速小型復合分子泵。據了解,隨著這種技術的突破,不僅填補了該項技術的國內空白,也打破了國外技術的壟斷。
“這種分子泵的轉速每分鐘可以達到7.2萬轉到9萬轉,如此高的轉速肉眼是根本無法分辨的。”據現場一名技術人員介紹,國外分子泵、干式無油真空泵的技術發展已經較為成熟,領先國內20至25年,其應用極為普遍。在國內,近年來,分子泵、干式無油真空泵的應用也日趨廣泛,給其帶來了史無前例的大好發展時機,國內無油高端泵的市場非常引人注目。而九天真空也是國內目前唯一能生產高速小型復合分子泵的企業。
據了解,分子泵廣泛應用于高能加速器、等離子體物理空間研究、原子束分子束系統、表面物理和分析儀器以及高級電子元器件制造等涉及真空技術的半導體產業、電子信息產業、航空航天工業及科研事業等領域。
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