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一種高精度的圓分度測量原理

作者: 2013年07月17日 來源: 瀏覽量:
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1.引言  在圓分度測量系統中,目前多采用平均讀數原理來提高測量精度,其基本方法是通過在度盤圓周上均布多個讀數頭,利用平均讀數有規律地消除讀數中的部分諧波誤差。但這種方法存在一定局限性,一是讀數中仍然
 1引言

  在圓分度測量系統中,目前多采用平均讀數原理來提高測量精度,其基本方法是通過在度盤圓周上均布多個讀數頭,利用平均讀數有規律地消除讀數中的部分諧波誤差。但這種方法存在一定局限性,一是讀數中仍然殘留讀數頭個數整數倍的讀數諧波誤差,使測量精度難以進一步提高(尤其當讀數頭個數較少時);二是應用平均讀數原理提高圓分度測量系統精度必須建立在多個讀數頭的特性完全一致的前提下,這就必然增加圓分度測量系統的制造難度和制造成本(尤其當讀數頭個數較多時)。
  本文提出一種可有效提高圓分度測量系統精度的新的測量原理。實際測量證明,應用本原理的圓分度測量系統精度高于采用平均讀數原理的圓分度測量系統,同時還具有測量系統結構簡單、測量易于實現等優點。
  2.基本原理

  應用本測量原理的圓分度測量系統如圖1所示。被測度盤2與標準度盤1同軸安裝,它們可繞共同的回轉中心O作同步轉動或相對轉動,讀數頭34分別對標準度盤進行細分讀數,瞄準顯微鏡5實現對被測度盤的瞄準。測量時,首先相對移動兩度盤,使瞄準顯微鏡瞄準被測度盤的“0”刻線時讀數4的讀數為0,并設定此時主軸回轉角度為0。當主軸回轉角度為θ時,瞄準顯微鏡瞄準被測度盤的θi刻線,讀數頭43的讀數分別為aibi,在圓周上測得N組數據(θiaibi)(i012,…,N-1)。

1.標準度盤 2.被測度盤 
3,4.讀數頭 5.瞄準顯微鏡

  圓分度測量系統存在三種主要誤差:標準度盤的刻劃誤差、主軸晃動誤差和度盤的安裝偏心誤差,它們均會引起讀數頭的讀數誤差,所以讀數頭34的讀數中實際包含了被測度盤的刻劃誤差Δi和上述三種主要誤差引起的讀數誤差,其中讀數誤差是一以2π為周期的函數誤差。若以fθ)表示此周期函數誤差,則有

  (1

則讀數頭4的讀數為

  (2

若測量過程中按順時針方向轉動,由于讀數頭3的位置與讀數頭4相差β角,故讀數頭3的讀數同樣包含讀數誤差,只是在相位上超前了β角,則有

  (3

  在讀數信號(aibi)中,不能直接分離出被測度盤的刻劃誤差Δi,如果將讀數頭3的讀數減去讀數頭4的讀數,得到綜合信號di

  (4

經過適當處理后有

  (5

綜合信號di消除了被測度盤的刻劃誤差Δi,只包含測量系統的讀數誤差。di也是一周期為2π的諧波函數信號,故可應用信號分析技術對di進行譜分析。若圓周上的讀數個數為N時,利用FT分析可分離出di中的前N2階諧波誤差,即

  (6

從而可得到前N2階諧波的幅值和相位(Dkψk)。比較式(5)和式(6),可得讀數頭的讀數諧波誤差信號的幅值和相位(Akφk)與(Dkψk)的關系為

  (7

則被測度盤的刻劃誤差為

  (8

  式(8)即為被測度盤的測量結果。為了有效地分離出讀數誤差中的前N2階諧波誤差,必須合理確定讀數頭34之間的夾角ββ的確定原則是盡可能避免kβ2jπk12,…,N2j為整數)。見式(5),當kβ2jπ時,sinkβ2)=0,信號di中將不包含第k階諧波誤差,對di進行FT分析時就不能分離出第k階諧波誤差信號的幅值和相位(Akφk),則在式(8)中將包含讀數誤差的第k階諧波誤差的影響,使測量結果的精度下降。例如,當N24時,可取β56°β62°,但切不可取β60°,因為當k6時,kβ2180°di中將不含第6階諧波信號,在式(8)中只能消除15階和712階諧波誤差,殘留了第6階諧波誤差,從而影響測量結果的精度。

  3.數據處理流程和測量結果比對

  依據上述原理,數據處理流程如下
  (1)在圓周上獲得N組測量數據(θiaibi)(i012,…,N-1);
  (2)求出綜合信號dibiaii012,…,N-1);
  (3)調用FT譜分析軟件,獲得綜合信號di中前N2階諧波的幅值和相位(Dkψk)(k12,…,N2);
  (4)按式(7)分離出讀數諧波誤差的幅值和相位(Akφk)(k12,…,N2);
  (5)按式(8)修正讀數頭4的讀數中的前N2階諧波誤差,得到被測度盤的刻劃誤差值Δii012,…,N-1);
  (6)被測度盤的零起刻線誤差為iΔiΔ0i012,…,N-1),最大間距誤差為fmaxΔi)-minΔi)(i012,…,N-1)。
  為驗證本文提出的圓分度測量原理分離和修正測量系統讀數諧波誤差的有效性,筆者分別進行了采用本測量原理和采用平均讀數原理的模擬測量計算,并對二者進行比較。設對一已知零起刻線誤差真值的標準度盤進行測量,給定測量系統讀數誤差的各階諧波幅值和相位(Akφk)(k012,…,17),對度盤圓周上均布的N24個測點進行測量。采用本測量原理的兩讀數頭34之間的夾角β56°。應用平均讀數原理的模擬測量采用圓周上均布5個讀數頭的讀數方式。讀數頭43的讀數值(aibi)、被測標準度盤零起刻線誤差真值io以及采用兩種原理的誤差計算結果列于下表(因篇幅所限,未列出平均讀數原理5個讀數頭的讀數值)。
  由表可知,與采用平均讀數原理的測量結果pi相比,采用本測量原理得出的測量結果i更接近于被測度盤零起刻線誤差真值oi,其最大間距誤差結果也更接近于被測度盤真值。由此可見,本測量原理能有效分離和修正圓分度測量系統的讀數諧波誤差,其測量精度高于均布5個讀數頭的平均讀數原理測量方法。理論上,本測量原理能消除全部前N212階諧波讀數誤差,而平均讀數原理只能消除非讀數頭個數整數倍的各階諧波讀數誤差(123467891112階),而殘留了讀數頭個數整數倍的各階諧波讀數誤差(510階)。由于隨著諧波階數的增高(k15),讀數諧波誤差的幅值將減小到102秒數量級,因此可認為本測量原理基本上可以完全消除讀數諧波誤差。

表 原始數據和計算結果         (單位:秒)

序號 度盤零起刻線
誤差真值oi
原始數據 度盤零起刻線誤差計算結果
讀數頭4讀數值ai 讀數頭3讀數值bi 本測量原理i 平均讀數原理pi
0 000 000 -090 000 000
1 050 296 -092 -011 094
2 120 289 294 103 053
3 -070 -096 -045 -119 -193
4 100 -048 109 084 095
5 280 220 365 220 285
6 360 558 508 362 408
7 260 211 093 179 148
8 320 390 -095 335 232
9 180 269 -143 103 176
10 090 192 255 084 103
11 220 -016 041 165 261
12 160 -319 248 145 015
13 140 -002 277 087 087
14 220 328 232 196 216
15 080 -097 363 048 103
16 060 222 343 016 078
17 150 230 242 121 -008
18 -020 -016 -072 -053 -047
19 040 353 090 001 037
20 -070 189 -127 -100 -036
21 -050 -044 044 -095 -070
22 020 021 265 008 -129
23 080 077 062 011 068


  4.有關問題的討論

  本測量原理能有效提高圓分度測量系統精度的關鍵在于譜分析技術,其提高測量精度的有效性取決于頻譜分析的精度。眾所周知,在頻譜分析中存在頻率混疊問題。當圓周測量點個數N較小時,FT分析只能分離出較少階次的諧波信號,讀數信號中實際存在的其余高階諧波將使分離出的前N2階諧波信號失真,這種失真將隨著測量點個數的減小和實際信號中包含的諧波成分階次的增高而增大,從而使諧波讀數誤差的修正精度下降。通過適當增加測量點個數雖然可解決這一問題,但測量點太多將使噪聲增大,同樣會引起諧波讀數誤差的修正精度下降。原則上,解決頻率混疊問題的根本方法是在進行FT分析之前進行數字低通濾波,因此,截止頻率的確定和數字濾波器的設計將成為決定本測量原理提高圓分度測量系統精度有效性的關鍵。
  為了能有效分離出前N2階諧波誤差,在測量時必須針對不同的讀數點個數適當調整兩讀數頭之間的夾角ββ角的調整誤差是否會對測量精度產生影響呢?如果兩讀數頭間的夾角β有一調整誤差Δβ,由式(3)~(6)可知,讀數信號bi中會加入一個常量Δβ,綜合信號di中也會加入一個常量Δβ,在頻譜分析時,該Δβ只會使綜合信號中的0階(直流)分量改變,并不會對各階諧波信號的分離產生影響,故讀數頭夾角的調整誤差并不會影響圓分度測量精度,這將有利于應用本測量原理的測量裝置的實現。
  本測量原理能有效分離和修正圓分度測量系統的讀數諧波誤差對測量精度的影響,但與平均讀數原理一樣,這并不意味著對主軸回轉精度和被測度盤安裝精度沒有要求,在測量中,主軸徑向晃動和被測度盤安裝偏心引起的瞄準誤差會對測量精度產生直接影響。但在測量多面棱體時,如果采用自準直儀對被測多面棱體進行瞄準,則主軸晃動不會對測量精度產生影響,此時可以認為采用本測量原理能夠以較低精度的圓分度測量系統實現對高精度多面棱體的測量。
  由于本測量原理能實時、有效地分離出測量系統中前幾十階具有較大幅值的諧波誤差,并消除其對測量精度的影響,因此其實際意義在于降低了對標準度盤精度和標準度盤安裝精度的要求,使圓分度測量系統的制造難度和制造成本下降,并使測量易于實現。
  在角度測量中,本測量原理雖不能實時地消除測量系統的讀數諧波誤差對測量精度的影響,但可以在進行角度測量前先進行上述測量過程,求得測量系統的讀數諧波誤差后,再對角度測量結果進行讀數諧波誤差的修正,從而達到提高角度測量精度的目的。

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