MEMS傳感器
上海微技術工業研究院攜手IMT 推進MEMS傳感器發展(2016-05-04)
上海微技術工業研究院(SITRI)日前與美國最大的MEMS技術和制造服務提供商IMT(Innovative Micro Technology)簽訂戰略合作協議,雙方攜手面向物聯網應用MEMS傳感器技術創新,共同推進MEMS技術發展。…[詳情]
國內首條工廠化非半導體基底材料的MEMS傳感器生產線即將誕生(2016-03-11)
隨著科技的發展,智能機器人逐步進入了人們的生活。傳感器作為機器人的硬件之一,市場隨著其發展而持續擴大。…[詳情]
中科院地質地球所發明一種MEMS傳感器的集成封裝方法(2016-01-04)
目前,電子元器件芯片朝著越來越復雜的方向發展,而傳統的IC集成器件封裝和金屬管殼封裝都會帶來困難。例如MEMS傳感器,為了提高其性能,往往需要增加可動質量塊的厚度,使用傳統的IC集成器件封裝技術…[詳情]