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5納米
重慶研究院在5納米石墨烯納米孔精確制備技術研究中取得進展(2017-09-01)
日前，中國科學院重慶綠色智能技術研究院精準醫療單分子診斷技術研究中心在5納米石墨烯納米孔精確制備技術研究方面取得進展，研究成果以Precisefabricationofa5nmgraphenenanoporewithaheliumion…[詳情]
詳解半導體5納米制程技術及成本挑戰(2016-03-01)
導讀：半導體業自28納米進步到22/20納米，受193i光刻機所限，必須采用兩次圖形曝光技術（DP）。再進一步發展至16/14納米時，大多采用finFET技術。 半導體業自28納米進步到22/20納米，受193i光刻機所…[詳情]