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表面化學(xué)分析
《表面化學(xué)分析 電子能譜 紫外光電子能譜分析指南》征求意見稿發(fā)布(2020-04-24)
目前國內(nèi)外都尚未有關(guān)于紫外光電子能譜分析指南的標(biāo)準(zhǔn)，因此，全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)表面化學(xué)分析分技術(shù)委員會(huì)于2019年提出制定《表面化學(xué)分析 電子能譜 紫外光電子能譜分析指南》國家標(biāo)準(zhǔn)。…[詳情]
《表面化學(xué)分析-二次離子質(zhì)譜-硅中硼的深度剖析方法》意見征求(2020-04-24)
硼是半導(dǎo)體硅材料中的一種重要P型雜質(zhì)元素，其在硅中濃度分布直接影響到硅材料及器件的性能，而二次離子質(zhì)譜分析具有高靈敏度和較好的深度分辨本領(lǐng)，是檢測(cè)硅中硼濃度隨深度分布的有效手段。基于二…[詳情]