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激光干涉測量
激光干涉測量技術與儀器項目突破關鍵技術瓶頸(2019-06-12)
近日，在國家重大科技專項“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”等項目支持下，清華大學長聘教授、精密儀器系學術委員會主任李巖研究團隊完成的“高測速多軸高分辨率激光干涉測量技術與儀器”項目，突…[詳情]
激光干涉測量
激光干涉測量技術與儀器項目突破關鍵技術瓶頸(2019-06-12)
近日，在國家重大科技專項“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”等項目支持下，清華大學長聘教授、精密儀器系學術委員會主任李巖研究團隊完成的“高測速多軸高分辨率激光干涉測量技術與儀器”項目，突…[詳情]