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氮含量

《硅單晶中氮含量的測定二次離子質譜法》即將制訂(2019-11-12)

但目前在硅單晶中氮元素的測試方法方面還是空白，無論是紅外光譜法還是二次離子質譜法國內目前都尚無相關測試標準，只能借鑒SEMI MF2139-1103進行測試。為此，國家相關機構近期計劃制定一項有關于氮…[詳情]

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